技术编号:6149751
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明属于集成电路电光采样,具体涉及一种对电光探测器的调制信号电压进行校准的方法。 背景技术 随着微电子芯片制造技术的发展,芯片的集成度和运行速度越来越高。为了改进集成电路的设计和制造工艺,提高集成电路的可靠性,需要对发生故障的集成电路芯片进行检测分析。电光检测是一种用光学方法对芯片内部电压特性进行无损检测的方法,被国内外研究者证实具有皮秒量级的时间分辨率、小于 的电压灵敏度和0.5μm的空间分辨率,一直是微电子可靠性研究领域中...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。