技术编号：6150177
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光谱仪，具体涉及一种基于摆动镜和透射光栅的光谱仪。 背景技术光谱分析方法作为一种重要的分析手段，在科研、生产、质控等方面，都 发挥着极大的作用，而获得单波长辐射是不可缺少的手段。目前普遍用于工业流程在线检测用的采用多道探测器的CCD (Charge Coupled Device)多通道 光谱仪，采用透射光栅结构，光线透过透射光栅一次，分光后的某一波长单色 光被聚焦到多道探测器上。为了提高光谱分辨能力，透射光栅须采用高密度刻 线，但同时为了保证...
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