微型光离子化传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:6150375

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本发明涉及一种检测易挥发性有机化合物的器件。具体地说,涉及一种基 于光离子化原理的微型传感器。 背景技术光离子化技术就是利用光电离检测器来电离和检测特定的易挥发性有机化 合物。光电离检测器可以探测那些气体电离势能在紫外光源辐射能量水平之下 的气体,其高能紫外辐射可使空气中大多数有机物和部分无机物电离,但仍保持空气中的基本成分如N2、 02、 C02、仏0等不被电离(这些物质的电离电位大于 lleV)。微型光离子化传感器由紫外灯光源和电离室等主要部i构成。电...
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