大口径光学镜面Ronchi光栅定量检测仪的制作方法技术资料下载

技术编号:6150849

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本发明属于先进光学制造与检测,涉及一种光学检测系统,特别涉及一种大口 径、大相对口径、大误差范围的光学镜面检测系统。技术背景大型的光学仪器和装备,无论是空间的还是地面的,近几年来都呈现日益迫切的需求。 随着科学技术的不断发展,所需光学镜面的口径越来越大,对大口径光学镜面的制造需要相 应的检测技术也要求越来越高。对大口径光学镜面定量检测,尤其是对其加工初期较大误差 的定量检测仍然是光学加工制造也急需解决的重要难题之一。工艺过程的检测不同于其他的检测,它不要求...
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