技术编号:6150989
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利说明 一、本实用新型的硅微振动陀螺仪是一种较高精度的陀螺仪,属陀螺仪制造。二背景技术微机电系统MEMS是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。它涉及机械工程、电子工程、材料工程、物理学。MEMS的出现就立即引起了世界各国科学家、产业界和政府部门的高度重视。经过几十年的发展,MEMS已成为世界瞩目的重大科技领域之一。硅微型机械振动陀螺仪具有微型化、整体惯性小、响应速度快以及动态性能好等优异特性。因而决定了它今后的应用前景十分广阔。与硅微...
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