技术编号：6151507
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及惯性传感器，具体地说，本发明涉及一种新型的带声学腔 的电容式加速度传感器结构。背景技术加速度传感器是一种非常重要的惯性传感及测量器件，广泛应用于航空航天、振动监测、工业控制、地球物理勘探等领域。近年来随着MEMS (微机电系统)技 术的发展和成熟，MEMS加速度传感器以其体积小、重量轻、成本低、集成度高等 优点，在汽车电子及消费类电子产品中获得了大量的应用，并进一步向工业应用领 域扩展，具有广阔的市场前景。加速度传感器通过将感受到的加速度以一定比...
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