技术编号:6152808
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光纤传感技术,具体地说涉及一种光纤内集成式微型迈克尔逊千涉传感 器及其制作方法。 背景技术光纤传感技术是20世纪70年代末新兴的一项技术,在全世界形成了研究热门,已与光 纤通信并驾齐驱;光纤传感器由于其优越的性能而备受青睐,其具有以下优点体积小、质 量轻、抗电磁干扰、防、灵敏度很高、测量带宽很宽、检测电子设备与传感器可以间隔很远 等优点,可以构成传感网络。光纤干涉仪采用光干涉技术,其测量精度比普通光纤传感器的 测量精度更高。光纤干涉式传感器因...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。