技术编号：6152991
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及红外传感器领域，尤其是涉及一种电桥结构的红外线温度传感器。 背景技术红外测温由于具有非接触，测温动态范围宽和测温准确等独特优点，在食品，医 疗，电力，工业，建筑等领域具有非常广泛的应用。红外线测温传感器是红外测温仪表的关 键器件，其性能决定了测温仪表的精度。目前，红外测温传感器多采用热电堆原理制作，美 国专利US-5059543就公开了一种典型的热电堆红外传感器的制造方法，其包括在硅衬底 上利用硅各向异性腐蚀剂从硅衬底背面腐蚀，刻蚀中心部位的硅，...
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