技术编号:6153384
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及激光干涉仪测量光路准直瞄准装置和瞄准方法,用于精密测试和精密计量技 术领域。当采用激光干涉仪进行长度测量时,用于快速准确地实现激光干涉仪测量光路与耙 镜移动方向的准直瞄准。背景技术随着现代化国防建设、工业生产和、科学技术的飞跃发展,人们对位移测量及定位和标定 的精度以及测量速度提出越来越高的要求。激光干涉仪测量精度高,可达纳米级测量精度, 分辨率高,测量速度快,量程大,广泛用在精密或超精密测量中。但是,在激光干涉仪的长 度测量应用中,为了与激光干...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。