技术编号:6153726
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及激光技术和纳米技术测量领域,特指一种微光机电系统膜基耦合结构光声性能无损定量测试方法及装置。其适用于具有界面结合的各类微纳米薄膜、器件与宏观、介观或微观材料相耦合系统,如宏观基体上附着的分子自组装膜、双层分子自组装膜等的光声性能无损定量测试。纳米测量学在纳米科技中起着举足轻重的作用,它的内涵涉及纳米尺度的评价、成分、微结构和物性的纳米尺度的测量。自1984年诺贝尔物理学奖获得者Binnig和Rohrer首先研制成功扫描隧道显微镜(STM),10多...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。