技术编号：6154128
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明有关一种探针卡组件及其中的探针座，特别是应用于晶片测试的探针卡组件及其中的探针座。背景技术在半导体的晶片制作工艺中，晶片切割前为了测试晶片上芯片(die)的良莠， 必须使用高性能的探针卡(probe card)来执行晶片测试，如先前技术中的美国专利 US7304488、US7271603、US7053638等所揭露。探针卡上具有精密的测试探针，用来与待测 晶片接触，导通电路，并执行电性测试，以确保芯片的电气特性与效能是依照设计规格制造 出来。近年来，...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。