测定旋转元件角度位置的方法及其装置的制作方法技术资料下载

技术编号:6154660

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本发明涉及一种测定旋转元件角度位置的方法,还涉及一种测定旋转元件 角度位置的装置,特别是测定检流计式扫描器(中文的专业名词为"振镜",一 种用于激光束扫描的元件)转轴角度位置的方法及其装置。 背景技术现有技术中,探测有限旋转角度内旋转元件的角度位置主要有两种类型的 传感器, 一类是电容式位置探测器,电容式位置传感器虽然探测精度高,线性 度好,但是它的体积大,制作难度大,抗电磁干扰的能力差。另一类是光电式 位置传感器,目前的光电式位置传感器都是用发光元件如红...
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