技术编号：6155111
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微位移测量方法，具体涉及一种气体静压导轨气膜厚度和气膜刚度的电容式测试方法。背景技术气体静压润滑是实现超精密测量的核心技术，气体静压导轨由于摩擦力小、运动 平稳、精度高、几乎无热变形是实现纳米级分辨力的首选方案。但近年来的研究发现，采用 我国传统方法在空气静压导轨与气膜相垂直的法线方向进行测量时，有气膜振动现象，通 常可达30 50nm的量级。此振动成为制约超精密测量发展的重要瓶颈。在气体静压润滑 技术的发展中，如何有效抑制气膜振动问题成为国内学...
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