技术编号：6155419
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。探测设备中的校准特征本发明申请是名称为"探测电子元件的方法"、申请日为2004年 4月12曰、申请号为200480013141. 1的发明专利的分案申请。 (1 ) 本发明 一般涉及探测元件。 (2 )背景技术虽然本发明通常可适用于探测任何元件，但尤其适用于为测试集 成电路探测集成电路。众所周知，集成电路通常作为半导体晶片上的 多个基片被制造。附图说明图1示出了典型的用于测试半导体晶片124的测 试系统100 。如图1中示出的示例性的测试系统包括测试仪10...
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