技术编号：6155552
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体上涉及用于监测流体的品质和运动的传感器，所述流 体为气体或液体形式。具体而言，本发明涉及这些流体的热传感器， 例如在硅、玻璃、石英或其它衬底上以微结构形式运行的流体流量或 特性传感器，本发明涉及用于恶劣环境的传感器封装件.本发明涉及 流动通道与传感区域的对准.背景技术流量传感器被用于多种流体传感应用中以监测流体的运动，所述 流体可以为气态的流体形式.例如， 一种流重测量的类型是基于可被 用于监测流体的特性的热传感器，热传感器可以以微结构形式在硅衬...
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