技术编号:6155587
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种热电堆传感器以及该热电堆传感器的制造方法。 背景技术热电堆传感器用作红外传感器并且能够在半导体衬底上微机械制造。 它们尤其作为光谱的气体传感器例如用在汽车领域以及例如也用在具有图 像分辨功能的红外照相机中。在热电堆传感器中,通常在薄膜上构成热电偶的串联电路,其中每个 热电偶具有两个相互间在薄膜上在热接触方面接触的热电极或者说由具有 不同塞贝克系数的材料构成的热电极。热电极的常见材料对是硅和铝或者P硅和n硅(p掺杂的和n掺杂的硅),以及例如铋一...
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