技术编号:6157092
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种测量电阻的测量结构和测量方法,更涉及一种测量双极型 晶体管集电区方块电阻的测量方法。背景技术已知的双极型晶体管的集电区方块电阻测量结构如图1所示,该测量结构 是工艺条件和集电区的工艺条件相同的两端扩散电阻。^没计并测量具有不同长度L和宽度W的电阻,在电阻两端加电压V,并测量流经该电阻的电流I。由 于这条路径中的电阻R包含集电区的本征方块电阻Rcc和非本征电阻Rcx,可 以由公式I^V/I-Rcd/W+Rcx拟合出如图2所示的曲线,其中纵坐标为...
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