技术编号:6157988
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种热气泡式角加速仪,特别涉及一种运用无线识别标签技术以及使 用低温工艺制作的热气泡式角加速仪。背景技术许多基于不同测量方法的小型角加速仪已被开发,以满足对角加速度测量的需 求,而其中一种角加速仪是具有在硅晶片上制作出精巧的微结构,例如梳状结构(Comb Structure)或振动结构(Vibratory Structure)等。通过测量这些微结构在转动时产生的 寄生电容(Parasitic Capacitance)或共振频率(Resonant ...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。