用于探针卡组件的探针头控制机构的制作方法技术资料下载

技术编号:6158603

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用于探针卡组件的探针头控制机构背景技术探针卡组件是通常用于与测试电子器件的测试器连接的装置,该电子器件一般指 被测器件或DUT。探针卡组件可包括多个接触元件,接触元件具有能与DUT多个端子形成 弹性顺应性(compliant)压力接触的电学和机械特性。探针卡组件也可包括通过一个或多 个通信链路用于与测试器连接的多个连接器。探针卡组件也可以通过一侧连接连接器以及 另一侧连接接触元件的互连结构嵌入。当测试器连接到探针卡组件以及组件的接触元件与 DUT的端子接触...
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