角加速度检测元件的制作方法技术资料下载

技术编号:6159191

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角加速度检测元件(1)具备旋转锤(2)、固定部(4)、支撑梁(3)和检测部(5)。旋转锤(2)在围绕Z轴的角加速度所引起的惯性力的作用下相对于固定部(4)围绕Z轴旋转。固定部(4)设置在与旋转锤(2)分离的位置。支撑梁(3)设置在X-Y面中的固定部(4)与旋转锤(2)之间,相对于固定部(4)弹性支撑旋转锤(2)。检测部(5)输出在支撑梁(3)产生的应力所对应的检测信号。关于旋转锤(2),从Z轴方向观察到的旋转锤(2)的重心位置与支撑梁(3)重合。专利说明角...
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