技术编号：6159584
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。压力传感器，包括在控制、读出电路衬底上依次层叠排列的第一极板、第二极板、第三极板、第四极板和第五极板，其中第一极板、第三极板和第四极板相对衬底固定，第一极板和第二极板相对且之间具有间隙，第二极板悬置在第一极板上方构成一对电容，第二极板和第三极板相对且具有间隙构成一对电容，第四极板和第五极板相对且具有间隙，第五极板悬置在第四极板上方构成一对电容，能够沿垂直于衬底表面方向移动。本发明通过在电容式压力传感器中设置多个电容，并且在多个电容中设置了正...
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