技术编号:6159853
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种,待测结构被湿池结构的水汽影响,而与待测结构相同的标准结构被隔离,使得标准结构不受水汽影响,之后将标准结构和待测结构的电性参数相比较,即可具体的得出水汽对半导体器件可靠性的影响,具有很高的灵敏度和可信性,并有利于优化现有生产工艺。专利说明[0001]本发明涉及集成电路制造领域,特别涉及一种水汽检测器件及应用该水汽检测器件的水汽检测方法。背景技术[0002]集成电路的快速发展,给可靠性测试带来了巨大的挑战。集成电路工作者要进一步深入研究可靠性...
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