技术编号:6160788
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例提供一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器,包括透明衬底(1)以及以非嵌套的方式平铺在所述透明衬底(1)上的多个单层可动微梁单元(2);所述透明衬底(1)对与所述非制冷红外成像焦平面阵列探测器相配套的读出光路的光线透明。本发明实施例提供的非制冷红外成像焦平面阵列探测器,对目标物体进行检测时,由于衬底透明,避免了硅衬底对于来自目标物体的红外光的遮挡和反射引起的能量损失,可有效提高检测灵敏度;同时,因为衬底透明,也无需对衬底进行镂空,避免了制作全镂空结...
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