技术编号:6162034
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的目的在于提供一种不使断层摄影的精度(分解能)降低,能够将1次断层摄影所要时间大幅缩短(至1秒程度以下),能够高速且高精度地进行电子部件的安装状态的检查,并且能够价格便宜地构成的X射线检查装置。使X射线放射面12a与样品的载置面保持平行,且使连接X射线放射面12a上的某2点的直线的方向保持在一定的方向,使X射线发生器12以轴L1为中心,以长度r为半径作圆形移动的圆形移动机构25和,使X射线受光面I与载置面保持平行,且使连接X射线受光面I上的某2点的直...
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