技术编号:6162575
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及流量检测的,尤其涉及一种。该温差式流量传感器,包括一基体、基体上构造的隔热横膈膜以及横膈膜上的加热电阻和测温电阻,所述基体的下方键合有一衬底,所述衬底与所述基体之间形成一个可引导流体流经所述横膈膜下方的微流道;与现有技术相比,本发明提供的温差式流量传感器,通过其基体与衬底之间形成的微流道,通过微沟道的导向作用,使横膈膜上下表面均有流体流过,增加了横膈膜表面的强迫对流换热面积,使得横隔膜的上下两面受到的流体冲击基本一致,这样,一方面提高了温差式流量...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。