技术编号:6163439
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种探针台的结构,该探针台内部设计有可移动的支架,用于支撑晶圆,并带动晶圆一起移动;探针台的卡盘固定不动,且上表面面积大于或等于被测芯片的面积,小于被测晶圆的面积。本发明还公开了利用上述探针台测试晶圆的方法,步骤包括1)在支架的上表面加负压;2)将被测晶圆放置在支架上方,利用负压吸住晶圆;3)晶圆跟随支架移动,当被测芯片移动到卡盘和探针卡中间时,对芯片进行测试。本发明通过减小探针台卡盘的上表面面积,并利用多根支架固定支撑晶圆,使薄晶圆的背部可以...
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