技术编号：6164232
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种脉冲激光等效LET值的计算方法，该方法由脉冲激光等效LET值定义式及激光强度随入射深度x的衰减规律可知，在线性吸收机制下，每个光子产生一个电子空穴对，对于脉冲激光背部辐照试验方法，考虑芯片背部衬底外表面对脉冲激光能量的反射及芯片衬底的吸收衰减，再考虑正面金属布线和衬底内表面对激光能量的多次振荡反射，则由芯片灵敏区域内累积激光能量最终得到器件灵敏区域内ELET为本发明准确计算了灵敏区域内部对单粒子效应有贡献的所有脉冲激光能量值，对实现脉冲激光模...
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