技术编号:6164261
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种氧化锆基NOx传感器的制备方法,包括提供NOx传感单元、氧传感单元和加热体;所述NOx传感单元由NOx敏感层、参比气体通道层、氧化锆层组成,所述NOx敏感层包括NOx测试电极层、氧化锆层和参比电极;所述氧传感单元由氧敏感层、参比气体通道层和氧化锆层组成,所述氧敏感层包括氧测试电极层、氧化锆层和参比电极;所述加热体层包括绝缘层、加热电极、氧化锆层、引脚孔和引脚;将所述NOx传感单元、氧传感单元和加热体层叠共烧,制得氧化锆基NOx传感器;其中,所...
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