技术编号:6165426
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于一种FAIMS离子迁移波谱仪腔,其特征在于具有高重复精度的尺寸,允许稳定的气体流量,机械刚性,优异的热导性,并具有高的气流温度稳定性。所述腔的实质在于热电阻(7),离子化电极(10),HV检测器电极(11)和收集电极(12),以及以在陶瓷板(3、4)上形成贵金属层的形式形成导电接触(13、14、15),其中热电阻(7)位于顶板(3)和底板(4)的陶瓷板的外表面,以二氧化钌电阻层的方式,在陶瓷板的顶板(3)和底板(4)的内表面上,依次地,从气体进入...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。