技术编号:6165565
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的目的在于,提供一种传感器的温度补偿方法、该温度补偿方法的运算程序、用于运算处理该运算程序的运算处理装置、及传感器,该温度补偿方法通过抵消由内腔内的气体温度而产生的压力变化(密封在内腔内的气体的热膨胀)所引起的隔膜的变形,并在目标温度的范围内抑制隔膜的变形,由此能够进行最适度的温度补偿。本发明的静电容量型传感器的温度补偿方法,通过执行包含求出静电容量的变化量ΔC’的运算步骤S17的各运算步骤,由此得到可以判断由密闭空间内的气体温度而产生的压力变化(密...
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