技术编号:6165663
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种用于从基板(112)去除表面部分的采样装置(10)。所述装置包括框架结构(16)和刀具头组件(12)。刀具头组件(12)包含枢轴体(32),具有支撑在框架结构上的枢轴点(108)处的第一端(42);以及刀具,绕旋转轴线旋转地支撑在枢轴体(32)的第二端(46)处。刀具具有半椭圆形形状(70),并且驱动电机可活动地连接到刀具(70)。枢轴点(108)相对于旋转轴线(AB)间隔定位。刀具(70)是可操作的,以绕枢轴点(108)在枢转运动期间切削基板(112...
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