纳米结构的spr传感器装置制造方法技术资料下载

技术编号:6165954

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一种传感器装置,包括电介质基片(52);和在基片(52)上的金属层(53),其中具有至少一个空腔(54)的阵列,并且适于支持L-SPR,在金属层(53)中的每一个空腔(54)具有开口(56)和封闭的底部(58),且从开口到底部逐渐加宽。在每一个空腔(54)的底部(58)上提供有电介质材料的床层(62)以降低其表观深度,床层表面(62)被官能化以结合受体部分(64)。这种传感器装置是特别为SPR检测设计的,但也可以用于其它检测技术中。专利说明纳米结构的SPR...
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