技术编号：6166328
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于简单地并且可靠地、电容式地、无接触地并且非破坏性地检查在衬底（1）上或中或浮动地在衬底（1）中产生的导电结构（3）的设备和方法。根据本发明使用具有至少两个传感器电极面（9）的电容传感器（11），这些传感器电极面以彼此不同的、恒定的间距平行于衬底（1）的表面并且相对于衬底（1）的表面并排地被布置。专利说明无接触式电容间距传感器[0001]本发明涉及用于导电结构的无接触的并且非破坏性的检查的设备和方法，这些导电结构在衬底上或中或在衬底中浮动地被产...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。