用于检查工件的方法和设备的制作方法技术资料下载

技术编号:6166432

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在测量设备上测量一系列名义相同的生产工件。为了针对温度变化进行校正,所述工件中的一个工件形成标准制品,其度量例如通过外部校准是已知的。所述标准制品在两个或者更多个温度于所述测量设备上测量,产生所述标准制品在相应温度时对应的的两组或者更多组测量度量值。生成将所述标准制品的所述测量度量值与所述标准制品的已知度量相关联的一个或者多个误差图或者查找表或者函数。所述一个或者多个误差图、查找表或函数依赖于测量所述标准制品时的相应温度。使用源自于所述一个或者多个误差图、...
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