技术编号:6166504
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。相对于衬底放置样品施给器的系统和方法包括(a)获取在衬底附近的样品施给器的图像,其中该图像包括与样品施给器相对应的直接图像区、和与从衬底的表面反射的样品施给器的图像相对应的第一反射图像区;(b)确定直接图像区中样品施给器的边缘的位置;(c)确定第一反射图像区中样品施给器的反射边缘的位置;(d)确定样品施给器的边缘与样品施给器的反射边缘之间的距离;以及(e)根据边缘之间的距离确定样品施给器相对于衬底的位置。专利说明样品施给器感测和放置[0001]交叉引用相关...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。