技术编号：6166722
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于测量或者探测机械量或者动态量的微机械机构，其包括能够变形的膜片(20)和支撑基板(10)，所述膜片(20)包括第一部分(20a)和由所述第一部分(20a)包围的第二部分(20b)，所述第二部分(20b)的厚度小于所述第一部分(20a)的厚度，所述膜片(20)悬置在所述支撑基板(10)之上，并且因此限定了自由空间(30)，所述微机械机构还另外包括下邻接支座(21)，所述下邻接支座(21)用于限制所述膜片(20)的变形，所述下邻接支座(21)...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。