技术编号:6167319
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种具有空气压力测量装置的传感器元件包括由多个彼此叠加布置的层(11,12,13)构成的层叠(10)。在层中的至少一个第一层(11)中包含测量传感器装置(20)以用于测量与传感器的环境压力不同的测量参量。在层的第一层或至少一个第二层(12)中包含压力测量装置(30)以用于测量传感器元件的一侧(S1)上的环境中的空气压力或者包含通道(40)以用于使压力测量装置(30)耦接到传感器元件的一侧(S1)上的环境处。专利说明具有空气压力测量装置的传感器元件[0001...
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