技术编号:6167581
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。提供能够增大光量变化量的膜厚测量用的LED光源装置(30)。LED光源装置(30)配置有多个LED发光源(34~36);多个准直构件(342、352、362),它们配置于各发光源的下游侧,并使来自各发光源的入射光分别准直地射出;多个第1滤光构件(37、38),它们配置于各准直构件的下游侧,并仅使入射光中的特定波长区域以上的光透射和/或反射,或者仅使特定波长区域以下的光透射和/或反射而射出;以及聚光构件(39),其配置于第1滤光构件(38)的更下游侧,并使来...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。