Led光源装置、膜厚测量装置以及薄膜形成装置制造方法技术资料下载

技术编号:6167581

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提供能够增大光量变化量的膜厚测量用的LED光源装置(30)。LED光源装置(30)配置有多个LED发光源(34~36);多个准直构件(342、352、362),它们配置于各发光源的下游侧,并使来自各发光源的入射光分别准直地射出;多个第1滤光构件(37、38),它们配置于各准直构件的下游侧,并仅使入射光中的特定波长区域以上的光透射和/或反射,或者仅使特定波长区域以下的光透射和/或反射而射出;以及聚光构件(39),其配置于第1滤光构件(38)的更下游侧,并使来...
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