技术编号：6167600
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种谐振器微电子惯性感测器，优选微机电系统(MEMS)感测器(例如陀螺仪)，用于检测一个以上轴的线性加速度和旋转速率，其包括*密封质量块系统(21.1、...、21.4)，柔性地悬挂在衬底上方，用于进行绕中心轴线(24)的面内旋转振动，*驱动电极系统(D1、...、D4)，用于驱动密封质量块系统(21.1、...、21.4)进行所述面内旋转振动，以及*感测电极系统(S1、...、S4)，连接到密封质量块系统(21.1、...、21.4)，用于检测一个以上轴...
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