技术编号:6167748
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种能够实现更高速的测量并能够获得更高精度的测量结果的装置,来作为对薄膜的光学特性值和光学膜厚值中的至少一个值进行测量的测量装置。对形成于监视基板(Sm)的薄膜的包括光学特性值和光学膜厚值中的至少一方的值进行测量的测量装置(101)具备光信号产生机构(10),其将多个LED单元(11a~11f)利用光学滤光镜所生成的单色光调制成对于每个光源单元互不相同的设定频率,并发出多个光信号;照射机构(20),其对该多个光信号进行复用而生成复用信号,并通过光...
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