技术编号：6168261
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及磁性薄膜测试领域，具体地，涉及一种用于测试磁性薄膜材料力和磁耦合的测试装置。背景技术目前，薄膜材料，尤其是磁性薄膜在微机电系统有着越来越重要的应用。在磁场工作环境中的变形或受力特征是微机电系统研究非常关注的重要问题之一。相干梯度敏感系统工作原理是由薄膜表面反射后的光经两个光栅引入光程差最后形成的干涉条纹，该条纹包含了薄膜表面变形的信息。通过对条纹的处理即可以得到薄膜表面的变形信息。该系统具有全场、对振动不敏感等优点被广泛应用于薄膜表面变形测量...
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