技术编号：6168447
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种探针、探测头及应用此探测头的晶圆检测装置，探测头用以设置于一晶圆检测装置，探测头包括一导光通道、多个探针、光收集器及光检测器。光收集器及光检测器分别设置于导光通道的相对两侧，而多个探针环设于光收集器的外围。这些探针电性接触于一光电晶圆，以使光电晶圆发出的光线经由光收集器进入到导光通道，再由光检测器检测受测部位的光线强度。专利说明探针、探测头及应用此探测头的晶圆检测装置[0001]本发明涉及一种探测头，特别涉及一种用于晶圆检测的探测头。背景技术[0002...
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