X射线检查装置制造方法技术资料下载

技术编号:6168510

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本发明的X射线检查装置包括设在相互相向配置的X射线产生装置与X射线检测器之间、且对被检查物W进行载置的载置台;使载置台在包含X射线光轴方向的三个轴方向上移动的移动机构;取得被检查物的一部分区域的X射线透视图像的X射线透视图像取得部;从X射线光轴方向对被检查物的整个区域的外观图像进行摄影的光学照相机;将外观图像显示在显示器上的外观图像显示控制部;以及通过指定外观图像上的想要的位置,使移动机构驱动,以取得包含该想要的位置的X射线透视图像的移动机构控制部,通过输...
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