技术编号：6170837
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种位置测量装置，其用于检测两个机器组件的相对位置，机器组件至少沿第一和第二主运动方向在移动平面中相对彼此可运动地布置。位置测量装置包括至少一个量具，该量具布置在第一机器组件上。在第二机器组件上布置有至少六个扫描单元，该扫描单元用于在移动平面中在至少两个测量方向上光学扫描量具。在此，每个测量方向对应于至少两个扫描单元。在移动平面中的分别一个测量方向的扫描单元非点对称式地相对于第二机器组件的中心布置。专利说明位置测量装置[0001 ] 本发明涉及一...
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