测量晶圆电阻率的装置及方法技术资料下载

技术编号:6171125

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本发明提出一种,所述装置包括,测量头盘、测量头、位移杆以及旋转马达;测量头设置于测量头盘的一面,测量头分第一组测量头和第二组测量头,第二组测量头的头部曲率半径比第一组测量头的头部曲率半径大;位移杆设置于测量头与测量头盘之间,旋转马达设置于测量头盘的另一面;在使用第一组测量头对待测晶圆表面的薄膜进行第一次测量之后对初次结果进行分析,若初次结果存在异常则说明第一组测量头扎穿了待测晶圆表面的薄膜,使用头部曲率半径更大的第二组测量头对待测晶圆进行第二次测量,不易扎...
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