技术编号：6171250
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种射频串扰的测量方法、设备和系统，主要内容包括通过调节等离子体增强型化学气相沉积PECVD系统中射频电极(包括阳极和阴极）的匹配网络阻抗值，和/或者所述射频电极的射频能量发生设备的阻抗值，使所述匹配网络阻抗值及所述射频电极阻抗值之和与所述射频能量发生设备的阻抗值相同，利用射频电极与射频能量发生设备之间能量传递的可逆性，测量所述射频电极接收到的电信号，根据测量得到的电信号，确定所述射频电极所受到的射频串扰的能量，这样对PECVD系统中射频电极间...
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