技术编号:6171822
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种实现稳定测温的测温装置及其所在的半导体设备,通过在测温装置的绝缘管内部设置热电极固定装置,将所述两根热电极与所述绝缘管保持相对固定,从而使得测量端与待测温物体的表面接触良好,避免了日常设备维护时,热电极由于维护过程中的拖拽与绝缘管发生滑移,从而影响测量结果的现象,保证了测量结果的稳定性和准确性,同时在绝缘管下方设置一弹簧,通过弹簧的弹力使得测量端与被测物体接触良好的同时,避免了测温装置与被测温物体的刚性接触导致的被测温物体破裂。专利说明一种...
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