技术编号：6172642
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及静电带电测量方法和装置，其用于测量在半导体制造、电子设备制造、药品制造、食品制造等各种制造现场产生的静电带电，并对其进行管理。背景技术静电在各种制造现场不规律地产生，不只是部件、产品的破坏的原因，还成为引起火灾等故障、灾害的原因。作为具体例子，在半导体制造现场，产生静电的情况很多。在半导体制造现场制造的1C、LSI等电子元件、安装有它们的电子基板、组装有该电子基板的电子设备对于静电极其脆弱。由于所产生的静电通过接触、剥离、放电等而带电的器件、装置...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。