三维测定装置、三维测定方法、程序及基板的制造方法技术资料下载

技术编号:6172809

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本发明提供在利用光度立体法的三维测定装置中能够提高测定对象物的测定精度的。本技术涉及的三维测定装置具备四个以上照明装置、摄像部及控制部。上述四个以上照明装置对测定对象物分别依次照射光。上述摄像部对由上述四个以上照明装置分别依次照射光的上述测定对象物进行拍摄,取得4幅以上上述测定对象物的图像。上述控制部推测从上述四幅以上图像选择至少三幅图像的多个组合中的、上述测定对象物的三维测定的测定精度相对较高的图像的组合,根据推测的上述组合对上述测定对象物进行三维测定。...
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