MOS芯片γ射线辐射响应的实时在线测试系统的制作方法技术资料下载

技术编号:6173346

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本发明公开了一种MOS芯片γ射线辐射响应的实时在线测试系统,其特征在于所述系统包括辐射响应探针台(1)、脉冲I-V测试系统、脉冲C-V测试系统和On-The-Fly测试系统,所述辐射响应探针台(1)包括内置放射源(10)的铅容器、待测芯片(12)和观测待测芯片变化的显微镜(13),所述铅容器上端开口,待测芯片(12)放置在铅容器开口处,所述待测芯片(12)上端连接探针(14);所述探针(14)分别与脉冲I-V测试系统、脉冲C-V测试系统和On-The-Fl...
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